全国具有压力容器分析设计资质的设计院，全国具有储气罐分析设计资质的设计院及《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的规定。
9.5.4 生产厂房应设置气体泄漏报警装置，并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016及《特种气体系统工程技术规范》GB 50646的规定。
9.5.5 生产厂房应设化学品液体泄漏报警装置，并应符合现行国家标准《电子工厂化学品系统工程技术规范》GB 50781的规定。
9.5.6 生产厂房应设置广播系统，洁净区内应采用洁净室型扬声器。当广播系统兼事故应急广播系统时，应符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计规范》GB 50116的有关规定。
9.5.7 芯片工厂内应设置闭路电视监控系统，全国具有压力容器分析设计资质的设计院，全国具有储气罐分析设计资质的设计院监控摄像机宜采用彩色摄像机，闭路电视监控系统监控图像存储时间不应少于15d。

9.5.8 芯片工厂内宜设置门禁系统，所有进入洁净区的通道均应设置通道控制，洁净区内门禁读卡器宜采用非接触型。

9.5.1 一个完整的硅集成电路芯片工厂通常组织严密、内部分工细致，各工段相互联系紧密，对外需随时保持联系，通常需在厂内靠近办公区设一站，装设程控数字交换机，生产厂房洁净区由程控交换机引来。洁净区内通常采用综合布线系统，设置插座（单孔）和/数据插座（两孔或三孔）两种信息插座。
9.5.2 硅集成电路芯片厂房设置火灾自动报警系统主要目的为保障贵重工艺设备以及及早发现火灾隐患，全国具有压力容器分析设计资质的设计院，全国具有储气罐分析设计资质的设计院根据洁净厂房的特点，一旦火灾发生，人员进入较困难，火灾自动报警系统必须设置。设置火灾自动报警系统的区域根据生产工艺布置和公用动力系统的装设情况，包括洁净生产区、技术夹层、机房、站房等均应设火灾探测器，全面保护。
    硅集成电路芯片厂房内设备、仪器较为昂贵且厂房建造费用较高，一旦着火，损失巨大。洁净厂房内人员进出迂回曲折，人员疏散困难，不易发现火情，消防人员难以接近，防火有一定的困难。为达到室内净化级别，全国具有压力容器分析设计资质的设计院，全国具有储气罐分析设计资质的设计院洁净室内对气流、空间大小、换气率都有较高的要求。火灾发生后，若一旦关闭净化空调系统，再恢复也会影响洁净度，使其达不到工艺生产要求而造成损失，中断生产和烟雾对设备的影响所造成的损失很难弥补。洁净室内一般空间较大、气流速度高（换气次数40次/h～120次/h），普通的感烟探测器对烟雾探测有很大的困难。全国具有压力容器分析设计资质的设计院，全国具有储气罐分析设计资质的设计院洁净