云南省做化工设备的厂家,云南省做石化设备的厂家,云南做非标设备的企业硅集成电路芯片厂房生产区应为防静电工作区。
9.4.2 防静电工作区的地面和墙面、柱面应采用导静电型材料。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5×104Ω~1×106Ω,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s。
9.4.3 防静电工作区内不得选用短效型静电材料及制品,云南省做化工设备的厂家,云南省做石化设备的厂家,云南做非标设备的企业并应根据生产工艺的需要设置静电消除器、防静电安全工作台。
9.4.4 防静电环境的门窗选择应符合下列要求:
1 应选用静电耗散材料制作门窗或采用静电耗散型材料贴面;
2 金属门窗表面应涂刷静电耗散型涂层,云南省做化工设备的厂家,云南省做石化设备的厂家,云南做非标设备的企业并应接地;
3 室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,其表面应粘贴静电耗散型透明薄膜或喷涂静电耗散型涂层。
9.4.5 防静电环境的净化空调系统送风口和风管,云南省做化工设备的厂家,云南省做石化设备的厂家,云南做非标设备的企业应选用导电材料制作,并应接地。
9.4.6 防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装紧密结合的金属网并将其接地。当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,云南省做化工设备的厂家,云南省做石化设备的厂家,云南做非标设备的企业并应用接地引线与其可靠接地。
9.4.7 生产厂房内金属物体包括洁净室的墙面、门窗、吊顶的金属骨架应与接地系统做可靠连接;导静电地面、防静电活动地板、工作台面、座椅等应做防静电接地。
9.4.8 生产厂房防静电接地设计及其他要求,云南省做化工设备的厂家,云南省做石化设备的厂家,云南做非标设备的企业应按现行标准《电子工程防静电设计规范》GB 50611的有关规定执行。