江苏省做化工设备的厂家，江苏省做石化设备的厂家，江苏做非标设备的企业因此对于操作区的净化要求较高。为了节省运行费用，保证净化要求，通常采用壁板将操作区和低洁净度要求的设备区分开。
    随着芯片加工尺寸向8英寸及12英寸发展，对于线宽的要求也越来越高，大面积高洁净度净化区的造价和运行成本越发昂贵，因此采用标准机械接口加微环境的生产方式成为8英寸及12英寸芯片生产方式的主流。江苏省做化工设备的厂家，江苏省做石化设备的厂家，江苏做非标设备的企业在这种方式中，硅片放置在密闭的片盒中，在运输和加工过程中不会受到外界环境的污染，因此操作区可以采用较低的净化等级。同时8英寸及12英寸的生产辅助设备通常可以放置在生产区的下技术夹层中，以减少在生产区占用的面积，可以提高净化区的面积利用率，扩大单位面积的产能，江苏省做化工设备的厂家，江苏省做石化设备的厂家，江苏做非标设备的企业因此在生产区中就没有采用隔墙将操作区和设备区隔开，同时可以提高设备布置的灵活性。

3.3.9 由于硅集成电路生产对环境要求很高，参观人员进入生产区参观会对环境及生产产生不利的影响，同时进入洁净区换鞋、更衣等步骤耗时较多，因此通常会在洁净生产区外设置参观走道，参观走道通常布置在厂房的一侧或环形布置。
3.3.10 对于早期的8英寸芯片工厂来说，大部分硅片传送、存储和分发是通过人工操作完成的。江苏省做化工设备的厂家，江苏省做石化设备的厂家，江苏做非标设备的企业目前多数8英寸和12英寸芯片工厂设有自动物料处理系统(AMHS)，其优点在于有效利用洁净室空间、有效地管理生产中的芯片、有效地降低操作人员的负担，近而减少在传送硅片时的失误。在一些12英寸生产工厂，运输系统可延伸到不同的生产区域，江苏省做化工设备的厂家，江苏省做石化设备的厂家，江苏做非标设备的企业借助吊挂传输系统（OHT），将芯片直接传递到设备端。今后自动物料处理系统中还要在提高生产速度、缩短生产周期和快速适应芯片制造环境变化等方面进行持续改善，在首次投片到成熟生产期间快速发展起来。同时适应和满足芯片工厂的各种需求。
    在计算自动物料处理系统时，应考虑生产周期、生产线成品率、研发和生产工艺验证投片需求、江苏省做化工设备的厂家，江苏省做石化设备的厂家，江苏做非标设备的企业机械手臂的处理能力等因素来决定储位数量和载送距离。